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簡析金屬蝕刻的速度問題


  只要一談到金屬蝕刻,其蝕刻速度就是一個非常受大家關注的問題,同時了解深圳千鋼科技的客戶們也會發現千鋼科技原以前的培訓資料中多次講到需要快的蝕刻速度。但蝕刻速度并不是越快越好,這要具體情況具體分析,這個具體情況就是對深度及蝕刻表面狀態的要求,這個狀態其實就是平滑度,在這兩個要求中最為關鍵的是蝕刻深度的要求。對于一個需要進行化學蝕刻的產品,不管是要求深的蝕刻還是要求淺的蝕刻都有一個共同的準則,那就是深度的均勻性。
  蝕刻濃度的均勻性主要受四個方面的影響:材料、蝕刻溶液、蝕刻過程的物理參數和蝕刻效率的需要,當需要較深蝕刻要求時,材料的因素并不重要(材質質量太差例外),同時為了生產效率的需要,要通過對蝕刻溶液濃度、配方組成的調整及蝕刻物理參數的調整來提高蝕刻速度,即便是這樣也不需要“越快越好的蝕刻速度”。因為太快的速度會使溶液成分變化太快,會返過來影響到物理參數的控制難度,同時也會使被蝕刻的金屬表面溶解速度不能一致辭,使蝕刻后的表面平滑度降低。對常用金屬材料的蝕刻以現有技術水平完全可以做較高的蝕刻速度,可達0.1mm/min以上,這么快的速度需要腐蝕能力更強的配方及更高的濃度為了維持溶液成分的相對穩定可以采用大體積或自動分析調整技術,但在這里就有一個可用于批量生產的防蝕層怎么制作的問題。本資料所講的一定是批量生產而不是實驗室的工作。
  所以快的蝕刻速度只是一個相對概念,是在容易控制的同時,防蝕層制作成本可接受、蝕刻濃度均勻的前提下,快的蝕刻速度才有意義的。
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