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金屬蝕刻加工過程影響側蝕的因素有哪些?


金屬蝕刻加工過程影響側蝕的因素有哪些?
1.金屬蝕刻加工影響側蝕的因素
1)蝕刻方式:浸泡和鼓泡式蝕刻會造成較大的側蝕,潑濺和噴淋式蝕刻側蝕較小,尤以噴淋蝕刻效果最好。
2)蝕刻液的種類:不同的蝕刻液化學組分不同,其蝕刻速率就不同,蝕刻系數也不同。例如:酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數通常為3,堿性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數可達到4。近來的研究表明,以硝酸為基礎的蝕刻系統可以做到幾乎沒有側蝕,達到蝕刻的線條側壁接近垂直。這種蝕刻系統正有待于開發。
3)蝕刻速率:蝕刻速率慢會造成嚴重側蝕。蝕刻質量的提高與蝕刻速率的加快有很大關系。蝕刻速度越快,板子在蝕刻液中停留的時間越短,側蝕量越小,蝕刻出的圖形清晰整齊。
4)蝕刻液的PH值:堿性蝕刻液的PH值較高時,側蝕增大。峁見圖10-3為了減少側蝕,一般PH值應控制在8.5以下。
5)蝕刻液的密度:堿性蝕刻液的密度太低會加重側蝕,見圖10-4,選用高銅濃度的蝕刻液對減少側蝕是有利的.
6)銅箔厚度:要達到最小側蝕的細導線的蝕刻,最好采用(超)薄銅箔。而且線寬越細,
銅箔厚度應越薄。因為,銅箔越薄在蝕刻液中的時間越短,側蝕量就越小。
2.提高板子與板子之間蝕刻速率的一致性
在連續的板子蝕刻中,蝕刻速率越一致,越能獲得均勻蝕刻的板子。要達到這一要求,必須保證蝕刻液在蝕刻的全過程始終保持在最佳的蝕刻狀態。這就要求選擇容易再生和補償,蝕刻速率容易控制的蝕刻液。選用能提供恒定的操作條件和對各種溶液參數能自動控制的工藝和設備。通過控制溶銅量,PH值,溶液的濃度,溫度,溶液流量的均勻性(噴淋系統或噴嘴以及噴嘴的擺動)等來實現。
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